晶圆转移机
OTD-15
OTD-25
规格
| 阶段数 | 第一阶段 （盒带×1） | 第二阶段 （盒×1 、船×1） | Ⅲ阶段 （盒×2 、船×1） |
|---|---|---|---|
| 驱动方式 | 电机驱动（伺服） | ||
| 移植形式 | 1ca 异种卡带间移植 | 1ca到1bt 双方向移载 | 2ca到1bt 双方向移载 |
| 移植 速度 | Min40秒 + 换盘时间 | Min50秒（可调） | Min90秒（可调） |
| 装置寸法 | W400×D510×H1187(毫米) | W433×D490×H625(毫米) | W629×D490×H625(毫米) |
| 安全机构 | 卡带有无、晶圆有无、过载检测、异常警报、紧急停止 | ||
| 电源 | AC200V（50/60Hz） | ||
