控制器
SMFC-0005
SMFC-0020
| 型号 | SMFC-0005 | SMFC-0020 | |
|---|---|---|---|
| 全尺度流量 | 5L/min | 20升/分钟 | |
| 控制 流范围 （空气） | 控制范围 | 4〜100％FS （0.2〜5l/min） | 2〜100％fs （0.4〜20L/min） |
| 响应能力 | 设定的流速在2秒内±2％fs | ||
| 流 控制精度 （20℃） | ±5.0％rd （2 Q Q≦5L/min） ±3.0％fs（0.2 <Q≦2L/min） | ±5.0％rd （10 <Q≦20L/min） ±3.0％fs（0.4 <Q≦10L/min） | |
| 可重复性 | ±1.5％fs | ||
| 压力 | 操作 差压力范围 | 0.05〜0.2MPAG | 0.15〜0.3MPAG |
| 压力阻力 | 0.3MPAG ，但流传感器部分为0.05MPAG | ||
| 允许的工作温度范围 | 5-50℃ | ||
| 允许操作湿度范围 | 30-85％RH（无凝结） | ||
| 流设置 （选择） | 模拟输入 | 输入范围：1〜5V | |
| 序列新闻 | RS232C | ||
| 设置分辨率 | 0.01L/min | ||
| 连接 连接器 | 基柱 | S10B-PH（JST） | |
| 外壳 | PHR-10（JST） | ||
| 接触 | SPH-002T-P0.5（JST） | ||
| 气门气体接触材料质量 | PPS，不锈钢，氟化器， 黄铜，硅（传感器部分） | ||
| 连接端口 | 在：φ4或φ6输出：φ4或φ6 | ||
| 安装方向 | 自由 | ||
| 重量 | 大约200克 | ||
